钨灯丝扫描电镜的发射电流和光斑都比较适中，抗干扰能力和稳定性比较好。可在低真空下对非导电样品进行成像，并可用于形貌观察、微观结构分析，以及断口形貌分析。分析，在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医药等领域有着广泛的用途。
样品准备是钨灯丝扫描电镜分析中的重要环节，样品的质量和处理方法对成像效果有非常大的影响。通常将样品制成薄片或表面光洁的粒子，用金、银等容易导电的材料涂覆表面，然后通过真空室将样品固定在样品台上。
钨灯丝扫描电镜的成像方式有高真空模式、低真空模式和环境模式等。成像模式包括扫描线、点扫描、阵列扫描等。成像参数包括加速电压、探测电压、扫描速度等。在选择成像技术方面需要根据样品的特点进行选择，以便获得*佳的成像效果。
在使用时尽可能少地频繁开关钨灯丝。次数过多会对钨灯丝不利。它不仅大大降低了维护成本，而且保证了电子显微镜的高效稳定运行。
