Sensofar CSI （白光干涉） 是如何运作的?
Sensofar 干涉
为了测量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度，通过干涉技术，可在任何放大倍率下实现相同的系统噪声，它可实现优于 0.01 nm 的系统噪声。
干涉工作原理
干涉技术的工作原理是：将光分成光学传播路径不同的两个光束，然后再合并，从而产生干涉。干涉物镜允许显微镜作为干涉仪而工作；焦点对准后，可在样本上观察到条纹。
CSI （白光干涉）使用白光扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均达到 1 nm 的高度分辨率。
采用干涉法，3D 测量能以高精度进行。可沿 Z 轴扫描，在整个样本上获得条纹，用获取的不同像素的高度重新构建 3D 图像。
