氧氮氢分析仪是一种用于测定材料中氧、氮、氢含量的高精度分析仪器，在多个领域有广泛应用。
氧氮氢分析仪的工作原理基于脉冲电极炉加热、气体分析技术和微电脑控制。在分析过程中，样品被放入石墨坩埚中，并在惰性气体(如氦气)的环境下进行燃烧。样品中的氧与石墨坩埚中的碳发生反应，生成二氧化碳和一氧化碳；氢被释放出来，并与氧化铜反应，生成水；氮则以氮气的形式被释放出来。分析气体经过过滤后，通过载气(如氦气)输送，并经过催化炉以及试剂镀铂硅胶，将没有充分氧化的一氧化碳转化为二氧化碳。随后，气体进入检测池进行检测：
氧含量通过红外池进行检测，低氧通过长程红外池检测，高氧通过短程红外池检测。
水(由氢转化而来)也进入红外池进行检测。
二氧化碳和水的红外线能量在光谱范围中有精确的波长，这种特征波长的红外线在气体通过红外池时被吸收，从而使光能的强度降低，反映为红外池电压输出的降低，再经过积分就可以得到氧和氢两个元素的百分含量。
氮含量通过热导池进行检测，氮气和参考气体氦气同时进入热导池，由于两种气体的热导系数(即相同流量下带走热量的不同)的差异，使得惠斯顿电桥的输出产生变化，从而实现氮含量的测定。
