离子溅射成膜装置
主要由真空室和镀膜靶组成。工作时，几个金属靶材对着基板安置于真空室中。靶材上放置有一个阴极，该阴极会发射电子。电子被磁场聚焦并加速到高速，撞击靶材表面后会将原子或分子从靶材表面剥离。 剥离的原子和分子穿过反应室，在经过减压区域后，抵达基板表面并生成均匀的薄膜。
MSP-mini是用于台式SEM观察、光学显微镜的离子溅射成膜装置。
★小面积目标物，最大限度地减少涂层小面积样品时的浪费
使用（φ30mm）。
★试料台是滑动玻璃原封不动地装载的平板试料台。
★低电压涂层，即使对敏感的样品也不会造成样品损伤。
★用一个按钮全自动进行排气、涂层、泄漏。
★目标金属为金（Au）标准。您可以选择银（Ag）选项。
★排气系统采用外置RP 5升/min。
★辅助样品阶段（可选）可提高涂层速率和效率
可以成膜。
