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2024/12/9 14:44:31MPCVD工艺中,通过微波激励产生等离子体,进而在衬底上形成金刚石膜。这一过程中,测温面临以下难题:
等离子云干扰: 被测物被等离子云包裹,测温仪需具备穿透能力,准确测量目标温度。
高稳定性与重复性需求: 工艺中对温度变化的敏感度高,设备需要确保测量数据的一致性。
衬底材料多样性: 同质外延与异质外延对测温的适配性提出更高要求。
视窗材料选择: 真空炉的视窗材料可能对红外信号产生阻碍,需针对性优化解决方案。
针对测温瞄准困难的问题,IMPAC红外测温仪的视频瞄准模式成为理想选择。
直观视频显示: 通过视频窗口传输实时图像,清晰瞄准目标。
激光与可见光双重保障: 适用于高亮目标或复杂安装场景。
多参数适配: 提供灵活调整功能,满足不同工艺环境需求。
实时记录与存储: 可保存测温视频,用于后续分析。
作为IMPAC系列的明星产品,IGAR 6在高温工艺中展现了出色的性能:
宽温度范围: 能适应从低温到高温的多种场景。
高精准性与重复性: 保证工艺稳定运行,减少误差。
视窗污染警报功能: 实时监测视窗状态,确保测温准确性。
高速响应时间: 仅2ms,轻松捕捉动态温度变化。
顶级手动光学聚焦: 确保测量的灵活性与准确性。
坚固耐用: 不锈钢材质传感器,防护等级达IP65/NEMA4,适应恶劣工业环境。
真空高温炉
在真空高温环境中,红外测温仪能够精准应对复杂视窗材料和动态温度变化。
微波等离子沉积工艺
通过穿透等离子干扰,准确测量衬底温度,保障金刚石膜的均匀沉积与质量。
其他高温工业场景
如金属热处理、陶瓷烧结、高温焊接等,IMPAC红外测温设备都能高效胜任。
作为IMPAC设备的国内代理商,上海明策不仅提供高性能的测温设备,还为用户提供从方案设计、安装调试到后续维护的一站式服务,帮助客户在严苛工业环境中实现更高效、更精准的温度控制。
如需进一步了解产品详情或定制解决方案,欢迎联系上海明策!