风淋室在现今而言,半导体工业愈来愈兴盛情况下,其清净室(cleanroom)的设计也就很重要,但是 在目前能源危机的阴影下,其 cleanroom 的能源效率在设计时是很重要的考虑因素, 所以在以下的报告中,将提出一些有关这方面的探讨。 达到设计及管理 Cleanroom 的能源效率的方法约有 : 1.将风管静压减至zui小-使用zui小的风扇马达。 2.用空气干燥的除湿机以代替卤水供给至盘管-作湿度控制。 3.设定调温器及风扇循环时间。 4. 5.正确互动地控制定序的指令及其它可达到正确尺寸和操作cleanroom之设备。 除了这些方法之外,风淋室其日常的保养工作也是很重要的包含 : (1)须时常更换前置过滤器 (2)须适时的更换 HEPA filter 来节省风扇运转费用 (3)冷却水塔和其它适合操作的状况 这些也可使 cleanroom 的能源效率维持在*化。 以上所有这些方法,都是为了节省 cleanroom 能源使用的总数。变频控制除了应用在马达启 动外,zui主要能被应用到排气风扇,外气风扇,控制*的 transducers 经由易变的入口体积以达 到保持cleanroom 稳定的压力。 很多 cleanroom 的设计在建物容积及排除的总热条件下,相当于大型的商业建筑物,也就是 说一个20 楼的办公大楼的操作,被浓缩成一楼的cleanroom ,但是所排除的总热是相当的。 cleanroom 工业必须依顾主不同的需求,可以有各种能源效率的设计,且可根据事前计算, 以设计cleanroom 的清净度。事实上,大部份较大的清净室的典型设计一是用一冰水机装置 来排除自风扇马力的机械热负荷。 在省能的空调中,工程师能够设计现代化的工程, 一大规模的办公大楼不必为了能源法规来用 这些设备,而是为了满足大型工业委托设计的能源效率。 对箱型气冷冰水主机而言, 包括一些螺旋式压缩机、卸载、复合式卸载的往复式压缩机和复合 式单速或双速的密封型压缩机,很少是离心设备的,其主要原因是价格。 顾主都希望用较少的钱去 买个冰水机并附有电子式控制, 可用复式的冷凝器风扇来使整个循环适当的维持压力头。 有效能源的 cleanroom 可采用吸收式冰水机,利用天然瓦斯来产生冰水,且配合电的操作 来混合产生冰水,吸收式冰水机系统,本身用电量极少, 只有循环水泵、冷冻抽水机、冰水泵须用 电,能源缺乏的情形下,cleanroom 若想省能可以用吸收式冰水机。 还有一种则是使用储冰系统,可以利用离峰时段用电在此期间冷却循环做储冰(储存大量的冰块 ),在利用尖峰时段,将储存的冰块溶化产生冰水, 再送至 cleanroom 区间去冷却,这种方式也可 达到有效能源的cleanroom,用储冰的方式不只可省电,且经常可允许较小的机械系统的安装。 |