使用 MA 方法加速测量气体/水蒸气渗透率的研究

使用 MA 方法加速测量气体/水蒸气渗透率的研究

MA方法的特点是在测量样品和连接到水蒸气或气体的QMS的空间之间提供支撑层。

支架具有延迟气体流入QMS侧面空间的作用，因此可以防止更换样品时检测器侧面空间的污染。结果，QMS侧的空间始终保持高真空度，从而可以缩短或消除预处理时间。

将样品室向大气开放约90秒后，进行约24小时的测量。未检测到大气成分水、氮气和氧气，表明QMS侧空间保持清洁的环境。

减少样品损坏

右图是测量后样品的照片。
支撑件起到缓冲器的作用，这是传统压差方法的一个问题。
还可以减少测量过程中对样品的损坏。
通过采用使用支撑体的测量方法，即使是薄且易碎的样品、容易破碎的样品以及难以处理的样品，也可以高精度地进行测量。

实现 SI 可追溯

QMS是一种可以高灵敏度定量各种气体的检测器，但灵敏度根据气体类型的不同而变化很大。此外，灵敏度可能会根据使用历史和环境而变化，因此需要定期校准。

该设备具有内置校准机制，使用 SI 可溯源标准电导元件 (SCE)，使校准变得容易。
校准时，将校准气体（用户指的气体或水蒸气）通过SCE引入检测器，如右图所示。通过绘制 QMS 输出与供应侧压力变化的关系图，可以获得校准曲线。

1. 气体/水蒸气渗透率测量装置：单室型（MAT）

实现快速测量、灵敏度和 SI 可追溯性

该装置快速、高灵敏度、高精度，可以测量薄膜的气体阻隔性能。它有助于各个领域的研究和开发，不仅包括
需要高水蒸气阻隔性能的有机器件和太阳能电池，还包括食品和药品包装，其中氧气阻隔性能对于防止氧化引起的质量劣化非常重要。

可以检测到10 -7 g/m 2 /天的水蒸气渗透率水平，这相当于每天在面积与10个足球场相同的样品(薄膜)上滴一滴水。
此外，新开发的测量方法大大缩短了测量时间，并且
通过使用公共机构的校准器，可以进行可追溯至国家标准的定量测量。

我们在国内外学术会议和展览会上广泛推广我们的产品，以促进国际标准，
目前我们拥有大量向国内外（尤其是中国）显示器和器件制造商、公共机构等客户的销售记录。

除了用于有机器件、太阳能电池、食品和包装的阻隔薄膜和片材之外，我们在测量
半导体和半导体陶瓷、容器和包装玻璃以及电子元件金属方面也拥有丰富的经验。