氧气浓度检测仪在半导体制造过程中的重要性-化工仪器网-手机版

氧气浓度检测仪在半导体制造过程中的重要性

半导体行业是一个全球性的巨大行业，每年都在持续增长，这意味着对高纯度气体的需求将随之增长。

拥有可靠的高纯度气体供应对于半导体制造至关重要，尤其是在智能手机和自动驾驶汽车等先进技术方面。

生产集成电路的过程很复杂，在所有阶段都需要 30 多种不同的气体，这使得使用的气体范围成为任何行业中广泛的气体之一。

气体是半导体制造的重要组成部分，因为气体可以产生塑造半导体电气特性所需的化学反应。由于其复杂性，在制造过程的每个阶段使用的气体都需要精确和准确，以正确配置半导体。

如您所知，氧气是一种氧化剂，因此它对于产生沉积反应至关重要。它用于生长用于工艺中各种元素的氧化硅层，例如扩散掩模。

当使用氧气进行半导体制造时，气体必须是超高纯度的，以防止任何杂质影响器件的生产和性能。

在蚀刻过程中，氧气也用于去除产生的任何额外材料废料。它也可以用来使任何蚀刻图案。

最后，氧气还有助于通过可能改变产品质量的氧化反应中和反应性气体。因此，与氮气类似，氧气也有助于确保不会发生任何污染。

检测部分采用稳定氧化锆陶瓷的便携式氧气计。这是一个集成传感器、控制单元、流量计、泵和过滤器。

模型	EZY-1-G	EZY-1-R	EZY-1-B	EZY-2-G	EZY-2-R	EZY-2-B
颜色	绿色的	红色的	蓝色的	绿色的	红色的	蓝色的
类型	无采样泵			带采样泵
原则	氧化锆陶瓷电化学电池
作品	SS盒、TB传感器、C-301控制单元、带针阀的流量计等。
测量范围	1ppm～100% O2
展示	%: 0~99.99%O2 ppm : 0~ 9999ppmO2
输出	4~20mADC（隔离） 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC（隔离，选其一） RS-232C 继电器接点：3点（A接点），集电极开路输出：2点（以下可任意分配）浓度报警：Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo（LCD 显示）传感器异常（故障）报警：加热器、RTD断线（LCD显示）预热完成信号范围回复
接点输入	远程校准变送输出（电压/电流）保持远程量程切换
量程切换	自动/手动/远程
初始设置	0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2
样本吸取	样品压配合			内置泵抽吸
样品压力	高达 2 个大气压
漂移线性重复性响应速度管道连接样品流速样品温度预热时间电源配件	±2%FS 以内/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以内，以较大者为准在 ±1%FS 或 ±1ppm 以内，以较大者为准 10秒内90%响应（如果向高浓度侧摆动） RC1/4 0.2～2L/分钟最高60℃ 约20分钟免费电源（85-260VAC）电源线3m

氧气浓度检测仪在半导体制造过程中的重要性