SONIC μLF-300S超声波微量液体流量计的资料
用于
IPA、纯水和化学液体等半导体制造过程中微观区域的流量管理
・测量1ml/min
以上的微小流量 ・通过数字信号处理
高精度测量微小流量 ・传感器部具有与流体的非接触式结构
・范围广
微LF-300S
| 型 | μLF-300S + μLT-8I （1/8英寸） 或μLF-300S + μLT-4I （1/4英寸） |
| 测量原理 | 超声波传播时间差法 |
| 被测液体 | 纯水、水溶液、各种化学溶液 * 请提前检查水以外的液体 |
| 自适应流体温度范围 | 如果您在 15°C~80°C * 60°C 或更高温度下使用，请提前检查 |
| 流体压力 | 0.5MPa 以下 |
| 流体动力学粘度 | 100mm^2/sec 或更小 |
| 流量范围 | 0 ml/min ~ 1000 ml/min （μLF-300S + μLT-8I） 0 ml/min ~ 4000 ml/min （μLF-300S + μLT-4I） |
| 测量精度 | ±0.5%RD （1/8英寸 ： 200 ~ 1000ml/min 条件： 常温、恒温水） ±1ml/min （1/8英寸： 0 ~ 199ml/min） ±0.5%RD （1/4英寸： 800 ~ 4000ml/min 条件：常温、恒温水） ±4ml/min （1/4英寸：0~ 799 毫升/分钟） |
| 重复性 | ±0.2%（纯品，液体温度±0.5°C，平均 30 秒） |
| 权力 | 直流 24V ±10% |
| 功耗 | 3.6W 或更低 |
| 重量 | 传感器 240 克，探测器 70 克 |
| 尺寸 WxHxD（mm） | 传感器 97 x 49 x 127 探测器 90 x 25 x 20（不含管） |
| 探测器 | |
| 管材 | PFA（含氟聚合物） |
| 管径 | 1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米，1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米 |
| 结构 | 相当于 IP65 |
| 包含电缆 | 5m，连接器连接 |
| Input 部分 | |
| 数字输出 | 4 线 RS-422、4 线 RS-485 |
| 模拟输出 | 4-20mA（瞬时流量），负载电阻 500Ω 以下 |
| 积分脉冲输出 | 1ch （集电极开路） |
| 警报输出 | 1ch （集电极开路） |
| 输入 | 1ch（零流量设置或全清除） |
| 键入命令 | 4 输入按钮 |
