过氧化氢低温等离子体灭菌器的原理主要包括以下几个步骤：
过氧化氢的气化：首先，将过氧化氢溶液注入灭菌腔内。在极度真空的腔体内，过氧化氢溶液被气化，形成过氧化氢气体。气化的过氧化氢本身对某些微生物具有致死作用，这是其灭菌效果的一部分1。
等离子体的形成：气化后的过氧化氢在灭菌腔内受到电磁波或高频电场的作用，被“激励”成等离子体状态。等离子体是一种高度电离的气体，包含大量具有能量的高能电子、激发态粒子等活性粒子。这些活性粒子在高速运动时，能够产生大量的紫外线、强氧化性自由基和氧化性的臭氧（O3）等1。
与微生物的相互作用：等离子体中的高能电子和激发态粒子能够直接击穿或氧化微生物表面的蛋白质和核酸，干扰和破坏微生物的生长而灭活。紫外线也能够直接破坏微生物的基因物质，打破其分子的化学键，生成挥发性的化合物。此外，等离子体中的活性物质与微生物体内的蛋白质和核酸发生化学反应，摧毁微生物并扰乱其生存功能1。
灭菌后的处理：灭菌完成后，过氧化氢会分解成水分子及氧分子，无毒害物质残留。因此，过氧化氢低温等离子灭菌过程无需通风和排水，安全而环保1。
灭菌过程的特点和优势
快速高效：灭菌周期短，适用于手术量大、手术常用物品库存较少的情况，能够满足较多手术需求，提高手术器械使用周转率2。
低温环保：整个灭菌过程在低温、干燥的环境下进行，不会损坏对热或水汽敏感的器械，适用于不与过氧化氢反应的金属和非金属器械2。
无残留无污染：过氧化氢最后分解的产物为氧气和水，无毒害物质残留，过程安全可靠
