层流压差式质量流量控制器基于质量守恒定律、伯努利方程以及哈根-泊肃叶定律设计，通过测量流体在管道两端的压差来计算流体的质量流量。
层流压差原理：当流体在管道中流动时，流体速度越快，压力越低。层流压差式质量流量控制器利用这一原理，在管道中安装两个压力传感器，分别测量管道两端的压力差。
哈根-泊肃叶定律：在温度、管径等参数一定的情况下，气体处于层流状态时，通过获取层流元件两端的压差信号，可以计算出体积流量。进一步通过温度、压力等参数的修正，可以获得标准体积流量。
整流模块：层流流量计一般具有整流模块，其作用是将湍流、过渡流等不规则流动状态转化为层流运动状态，以确保测量的准确性。
压差传感器：层流气体的进、出口两端有两根引压孔，引压孔之间有一个压差传感器，用于获取两个孔的压差。通过压差可以获得层流状态下气体的流速，从而得出气体流量。
在半导体工艺环节中，MFC助力清洗、气相沉积、热处理和刻蚀等操作得以顺利进行。如CVD、刻蚀机和高温炉等。以光刻为例，为了确保半导体芯片的质量与性能，氟化氢、氮气和氧气等气体需以精确的流量注入反应室中，每一步操作都经过严格控制，确保曝光和蚀刻过程精确无误。在这个过程中，MFC（质量流量控制器）的作用显得尤为重要，即使微小的气流变化也可能会导致材料的成分发生变化。对于半导体工艺而言，无论是高温环境还是高真空环境，MFC需要具备优异的温度和压力稳定性，以确保在各种条件下仍能保持准确性和可靠性。
易度层流压差式质量流量控制器的优点：
精度高、宽量程范围、宽温度、宽压力适用范围、稳定性强、无需预热即开即用、一台可测多种气体、抗过载能力强等优点。
