场发射电镜(FieldEmission Scanning Electron Microscope，FESEM)是一种高精密度的电子光学仪器，广泛应用于材料科学、生物学、地质学等领域。为了确保其正常运行和延长使用寿命，需要对场发射扫描电镜进行定期的维护和保养。
一、环境条件控制
1.温度与湿度：保持电镜室内的温度和湿度稳定，避免温度和湿度对设备的影响。
2.无尘环境：尽量将设备放置在无尘环境中，以减少灰尘对设备内部元件的污染。
3.减震防震：确保设备放置在稳固的工作台上，避免震动对设备性能的影响。
4.磁场干扰：避免强磁场干扰，确保设备的正常运行。
5.接地良好：确保设备接地良好，防止静电积累对设备造成损害。
二、清洁设备
1.表面清洁：每天工作结束后，应清理设备表面的灰尘、污渍等杂物，保持设备干净整洁。
2.关键部件清洁：对于镜片、样品仓等关键部件，需要定期进行深度清洁，以确保其性能不受影响。
三、真空系统维护
1.真空泵检查：定期检查真空泵油的油位和油质，确保真空泵正常运行。
2.真空管路检查：检查真空管路和密封件，确保无泄漏现象。
3.滤芯更换：定期对真空系统进行清洗和更换滤芯，以保持真空度的稳定性。
四、电子枪维护
1.灯丝电流检查：定期检查电子枪的灯丝电流，确保其在正常范围内。
2.加速电压检查：检查电子枪的加速电压，确保其在安全范围内。
3.冷却系统检查：检查电子枪的冷却系统，确保冷却水流量和温度正常。
五、透镜系统维护
1.参数检查：定期检查透镜的电流、电压等参数，确保其在正常范围内。
2.冷却系统检查：检查透镜的冷却系统，确保冷却水流量和温度正常。
六、检测器维护
1.参数检查：定期检查检测器的电压、电流等参数，确保其在正常范围内。
2.冷却系统检查：检查检测器的冷却系统，确保冷却水流量和温度正常。
七、电气系统维护
1.线路检查：定期检查电气线路、插头、开关等元件，确保连接牢固，无松动、破损等现象。
2.散热风扇检查：检查电气柜内的散热风扇，确保其正常运行，避免因散热不良导致电器元件损坏。
八、场发射电镜的操作注意事项
1.细心操作：在操作过程中，应细心观察电镜状态，洞察非常态现象，将故障防患于未然。
2.及时排除故障：出现故障时要冷静分析，从报错、操作状态着手，首先排除软件故障，再分析硬件故障，必要时及时与厂商专业维修人员沟通。
3.正确处理试样：保持试样清洁、干燥和具有良好的导电性、导热性，从加速电压、焦距、探测器模式等多方面正确处理特性各异的试样。
