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2024/12/25 10:07:52EBIC (Electron Beam Induced Current),电子束诱导的电流。
EBIC原理
EBIC图像是通过测量穿过半导体氧化物(Oxide)和金属(Metal)层进入pn结的电子流而产生的。电子束(Electron Beam)与半导体PN结区的作用产生的电子空穴对(electron hole pairs)在扩散电压(diffusion voltage)的作用下分离。EBIC电流信号通过钨探针连接到EBIC放大器上,并将EBIC电流信号放大并转换为电压信号。当用电子束扫描样品时,即可通过SEM获得样品的电流像。
(1) 电子束在半导体材料中产生电子-空穴对
(2) 电子和空穴在耗尽区的内部电场中分离产生 EBIC 电流
(3) EBIC电流信号作为 SEM 成像系统的输入信号
(4) 可对耗尽区(Depletion zone)和电气缺陷表征
EBIC图像解读
在EBIC图像中,“明/暗”区域代表PN结中n阱和P阱。灰色区域表示没有记录到电流的区域。通过与二次电子像的叠加,可以SEM相中看到PN结(耗尽区,Depletion zone)的位置。
EBIC结果
EBIC结果可以用于定位并观察PN结和非破坏性电气缺陷表征。
图示例:EBIC in 10 nm Exynos