旋片真空泵的极限真空度会受到多种因素的影响，具体如下：
泵体结构与设计
- 单级与双级结构：双级旋片真空泵的极限真空度通常比单级的要高。因为双级泵是由两个单级泵串联而成，气体经过两级压缩和排气，能更有效地将气体排出，从而获得更高的真空度，一般双级旋片真空泵的极限真空度可达到1.3Pa以下，而单级旋片真空泵的极限真空度相对较低.
- 转子与旋片的设计：转子的直径、长度以及旋片的数量、尺寸和形状等都会影响泵的抽气性能。较大的转子直径和适当增加的旋片数量，可以在每次旋转时捕获和排出更多的气体，有助于提高极限真空度。
密封性能
- 泵油质量与油位：泵油在旋片真空泵中起着密封、润滑和冷却的重要作用。如果泵油受到污染，如混入水分、杂质或被氧化，其密封性能会下降，导致-极限真空度降低。此外，油位过高或过低也会影响密封效果，油位过高可能会使油进入吸气腔，影响气体的正常吸入；油位过低则无法保证良好的密封和润滑，一般油位应保持在油标中心位置.
- 密封件的状况：泵体的密封件，如轴封、端盖密封等，若出现老化、磨损或损坏，会导致外界空气泄漏进入泵内，使极限真空度无法达到理想值。
内部部件的磨损
- 旋片与定子的磨损：长时间使用后，旋片与定子内壁之间的摩擦会使两者产生磨损，导致配合间隙增大。当间隙超过一定范围时，气体容易从高压侧泄漏到低压侧，从而降低极限真空度.
- 弹簧的疲劳：旋片背后的弹簧在长期使用中可能会出现疲劳现象，导致弹簧张力不足。这会使旋片无法紧密地贴合定子内壁，影响吸气室和排气室的隔离效果，进而使真空泵的抽真空性能下降，极限真空度降低.
被抽气体的性质
- 气体种类：不同种类的气体分子大小、质量和粘性等性质不同，对极限真空度有一定影响。例如，粘性较大的气体在泵内的流动阻力较大，较难被抽出，会导致-极限真空度下降；而对于密度较小、分子直径较小的气体，相对更容易被抽出，极限真空度可能会稍高一些.
- 可凝性气体和水蒸气：如果被抽气体中含有可凝性气体或水蒸气，当它们进入泵内后，在压缩和排气过程中可能会凝结成液体，混入泵油中，影响泵油的性能和密封效果，进而降低极限真空度。若真空泵附有气镇装置，可以在一定程度上抽除可凝性气体，但如果气镇装置工作不正常或气镇量不足，仍会对极限真空度产生不利影响.
真空系统的状况
- 管道与连接件的影响：真空系统中的管道长度、直径、弯头数量以及连接件的密封性能等，都会影响气体的流动阻力和泄漏情况。如果管道过长、过细或弯头过多，会增加气体流动的阻力，使泵的抽气速度减慢，极限真空度降低。此外，若管道或连接件存在泄漏点，外界空气会进入真空系统，导致真空度无法达到预期值.
- 被抽容器的大小和形状：被抽容器的容积越大，要达到相同的极限真空度所需的抽气时间就越长。而且，如果容器的形状不利于气体的均匀分布和排出，也会影响极限真空度的提高。
工作条件
- 进气口压力：进气口压力过高或过低都会对极限真空度产生影响。当进气口压力过高时，超过了泵的额定工作压力范围，会使泵的负荷增大，抽气效率下降，甚至可能导致泵的损坏；而当进气口压力过低时，气体分子数减少，泵的抽气速度也会相应减慢，极限真空度难以进一步提高.
- 工作温度：泵的工作温度过高会使泵油的粘度降低，影响其密封性能和润滑效果，同时也可能导致部件的热膨胀，使配合间隙发生变化，从而降低极限真空度。一般旋片真空泵的工作环境温度和吸入气体温度应在5℃~40℃之间.
