真空系统主要由以下几个部分构成：
这是产生真空的关键部分，常见的有以下几种类型：
真空泵：如前面所述的旋片式真空泵，结构紧凑、抽气速率相对稳定，适用于一般工业生产场合的真空吸附需求；还有螺杆真空泵，具有抽气量大、对粉尘等杂质包容性较好的特点，可应用在一些可能存在颗粒杂质的吸附工况中。另外，像分子泵等能实现高真空度的泵，可满足对吸附力精度要求较高、需要高真空环境的特殊吸附应用场景。
真空发生器：它利用压缩空气通过喷嘴高速喷射产生的卷吸作用，在另一侧形成真空区域，结构简单、成本较低且响应速度快，常被应用于自动化生产线上需要快速实现真空吸附、松开动作的场合，例如在一些小型电子产品组装流水线上吸附零部件。
即直接与被吸附物体接触并实现吸附功能的部分，主要包括：
吸盘：形状多样，常见的有圆形、方形等。材质上有橡胶吸盘，质地柔软、密封性好，适用于吸附表面较光滑、形状规则的物体，比如吸附玻璃制品；还有聚氨酯吸盘，耐磨性能好，对于有一定粗糙度表面的物体也能有较好的吸附效果，像吸附一些表面有纹理的塑料板材等。吸盘的大小、数量等根据被吸附物体的尺寸、重量以及吸附要求等来配置。
吸附平台：如果是大面积、多工件同时吸附的情况，会设置吸附平台，平台上分布有多个吸附孔，通过内部连通的真空通道与真空发生装置相连，可一次性吸附多个物体，常见于木工雕刻机上吸附木板等操作，便于固定工件进行加工。
真空管道：用于连接真空发生装置与吸附执行部件，其管径要依据系统所需的抽气速度、气体流量等因素来选择，材质方面，像不锈钢管道耐腐蚀、强度高，常用于长期稳定运行、环境条件相对复杂的真空吸附系统；而塑料管道成本低、安装方便，在一些对管道性能要求不是特别高的小型吸附系统中应用较多。
连接件：如弯头、三通、管接头等，要保证连接牢固且密封良好，防止出现气体泄漏，影响真空吸附的效果，一般会采用密封垫片、密封圈配合拧紧的方式来确保连接处的密封性。
起到控制真空通路的开启、关闭以及调节气体流量等作用，主要有：
真空控制器：可以设定和调节所需的真空度数值，根据系统反馈自动调节真空发生装置的运行功率等参数，以维持稳定的真空吸附状态，比如在一些需要精确控制吸附力的包装机械中，通过真空控制器保证每次吸附的力度一致。
真空计：实时测量系统内的真空度情况，有热偶真空计、电离真空计等不同类型，可根据实际的真空度范围选用，为操作人员或控制系统提供准确的真空度数据，以便及时发现真空吸附系统是否存在异常情况，如是否有泄漏、真空泵是否正常工作等。
