技术文章

气体质量流量控制器-基于层流压差式的专业解析

陕西易度智能科技有限公司 >> 进入商铺

2025/1/2 17:29:30

气体流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是一种用于精确控制气体流量的关键设备,广泛应用于半导体制造、化学工艺、生物医药以及环保等领域。其工作原理和性能表现直接决定了相关工艺的效率与质量。

易度智能作为国产自研层流原理的MFC制造商,以其技术和产品性能成为行业的独角兽。小编从专业视角详细解析基于层流压差原理的MFC核心技术、工作机制及易度智能MFC的产品优点

1. 层流的基本特性

层流是气体在低雷诺数条件下的稳定流动状态,在层流状态下,气体的流量与压差成正比。这一特性为层流压差式气体流量控制器的设计提供了理论基础。

2. 压差式测量的实现

层流压差式MFC通过以下关键组件实现流量测量:

层流元件:精密的机械结构确保气体在通过时保持层流状态。

压差传感器:自研高灵敏传感器实时测量层流元件两端的压差值。

计算方式:测量出压差后就可以根据标定数据获得工况流量和质量流量

易度智能层流质量流量计及控制器的核心优势

产品合集.jpg


3. 国产自研!

易度智能是国内第—家获得层流压差式CPA资质批准证书的企业,也是有能力生产通用型层流质量流量计的制造商。其产品补充了国内市场的技术空白,具备可平替进口设备的能力。

4. 高精度与高稳定性

量程范围广:高精型产品覆盖0.1sccm5000slpm的量程需求,适应多样化的工况场景。

测控精度:高精型产品测量误差控制在±0.5%读数精度以内,重复性达到±0.1%,在行业中处于上游水平。

温度压力补偿:内置温度传感器和压力传感器,通过实时修正,保证不同环境条件下的精确测量。

5. 严苛的质量保障

核心部件自主研发:所有关键组件均为自主设计与制造,确保质量可控可根据需求灵活定制产品

疲劳与耐久测试:每款产品需通过数千万次疲劳测试,确保长期稳定运行。

广泛气体兼容性:内置70+种气体及混合气体数据库,用户可根据工艺需求快速适配多种气体开机即测,无需转换系数。

基于层流压差原理的气体流量控制器以其高精度、快速响应和可靠性在工业领域中占据重要地位。易度智能以国产自研,超高技术和高可靠性产品,为更多行业提供了可靠的解决方案。


相关产品

猜你喜欢

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :