光电检测作为光学与电子学相结合而产生的一门新兴检测技术，具有精度高、速度快、非接触、寿命长、易于自动化和智能化等优点。其主要通过光学系统把待检测的非电量信息变换成为便于接受的光学信息，然后用光电探测器件将光学信息量转换为电信号输，从而了解待检测物的光电性能。基于光电扫描测量技术的多模态光电检测显微镜，兼容了极紫外-太赫兹波段的激发光源，通过振镜和电动位移台相结合的扫描方式，可以在亚微米分辨率下，实现待测物在变温环境中的光电流和光电压、拉曼光谱、荧光寿命等多种特征信号的测试，从而实现在多个维度对待测物进行相应的光电表征。当前，由于多模态光电检测显微镜具有高度灵活的测试维度和兼容众多主流和仪器仪表，使其被广泛应用于科学研究、光伏器件检测、材料微加工和激光改性、定制化检测等众多领域。
烛龙™系列中的多模态光电显微镜是一台具有超高稳定性的多功能光电综合测试和微加工系统，可根据客户需求提供多种灵活可选的配置和方案。系统集成了电动运动台和振镜的扫描方式，可实现瞬态和稳态下的光电流测试和扫描成像，荧光寿命测试和扫描成像，拉曼光谱测试，二次谐波测试，荧光光谱采集，发射和吸收等光谱端的测试和扫描成像。除此之外，整套系统可搭配飞秒脉冲激光器和我司自主研发的低温系统进行相关的变温测试以及器件表面的微加工和缺陷标记。多模态光电显微镜将为众多新质生产力领域提供强大的支持，助力国内相关领域的发展和科技创新。
烛龙™系列多模态光电显微镜产品亮点：
超宽的多波长激发光源
- 极紫外-太赫兹波段的超宽谱线覆盖范围(266nm-0.8THz)
- 多种可选的稳态光源和瞬态光源
- 提供激光功率和频率的软件控制
多功能测试样平台
- 支持直流，交流以及高频探针（漏电流<100fA）
- 支持常温和变温下的引线键合测试（10K-450K）
- 支持常温和变温下的探针测试（77K-450K）
- 兼容2450，4200，6221等多种源表
- 兼容OE1201，SR810等多种锁相放大器
多功能测试和微加工模组
- 支持光电流测试和扫描成像
- 支持二次谐波和电致发光测试
- 支持器件表面的微加工和缺陷标记
- 支持电动位移台和振镜的多种扫描方式
- 支持荧光寿命和拉曼光谱测试和扫描成像
系统高度自动化
- 电动显微聚焦
- 多种可选的光采集模式
- 瞬态和稳态光源和光路的电动切换
- 线偏振光和圆偏振光的电动偏振测试
