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环境温湿度对半导体芯片生产中的影响

测量气体中的水蒸气露点温度的仪器叫做露点仪。露点仪因所使用的冷却方法和检测控制方法不同，可以分为多种类型。这里只介绍热电制冷自动检测露层的平衡式精密露点仪在半导体芯片生产中的应用。

露点仪在半导体芯片的生产工艺中起重要监测作用。半导体芯片的生产是在

净化间内进行的。净化间规范往往包括相对湿度（RH）这一项，一年内控制点的范围从35%到65%，精度2%（70℃以下）湿度超标会影响产品质量及生产计划的完成。

在半导体芯片生产区，湿度不稳定，会出现很多问题。最典型的问题是烘干期延长，整个处理过程变得难以控制。当相对湿度高于35%时，元件易被腐蚀。此外，将显影液喷在芯片表面时，显影液迅速挥发，使芯片表面温度下降，致使水汽凝结在芯片表面。凝结水不但会影响显影特性，还会吸收到半导体内，这将导致膨化及其它质量缺陷，还必须增加一些不必要的工艺控制。

特征

特点

全部在TEKHNE工厂校准创新的氧化铝技术测量范围：-100～+20℃露点 0～2000ppm（选件）精度：±2℃露点压力：10-4Pa～30 MPa TK-100在线式监测仪 TK-100传感器不包含监测仪安装简便

简便

TEKHNE公司是一家拥有40年露点测量的日本制造商，生产创新的TK-100系列湿度仪。测量方便，带有显示屏的TK-100在线式湿度仪能连续测量，你所需要的是100～240VAC电源和样气接口。此外，你也可以选择TK-100露点传感器，单独使用4～20mA信号输出供电18～28VDC。

高品质

TEKHNE的氧化铝陶瓷传感器能保证最佳精度，快速响应以及长期稳定性。大多数先进的传感器技术均应用于此。此外，先进的微处理器技术实现全温度补偿，将处理温度到露点测量值的影响最小化。通过TK-100传感器把-80～+20℃露点输出转换为稳定的和线性的 4～20mA输出。

灵活性

TEKHNE的TK-100系列用于空气或惰性气体的露点测量。把传感器通过选件取样座由5/8” UNF或1/8” NPT接入到你的处理线上。1/8 DIN显示屏可在距离传感器1000米远处设置。处理线的流量必须设定为1～10NL/分（带选件取样座）或0.5～10m/秒（不带选件取样座）温度范围 -20～+60℃，压力可达30MPa。建议安装过滤器滤去灰尘。