精度为0.05%FS 的石英绝压压力芯体

原理

   基于石英谐振原理，以石英基膜作为感压元件，当外界输入压力时，引起石英基膜发生应变，导致与感压膜刚性连接的石英振梁的谐振频率发生变化，从而实现压力测量。外配激振电路，即可将输入的压力转换为频率输出。

优势

1、感压模式：石英晶体感知压力变化，温漂系数小，稳定性高，石英晶体本身决定的，它的弹性模量或者说杨氏模量比硅的小一半。所以，对于硅材料来说，石英材料本身存在一定的优势。

2、材料：石英谐振芯体相对陶瓷或者金属的，体积更小，稳定性更强，技术含量更高。全石英结构设计，上面采用了ack，面板就是一个接口电路，把差动电容的变化转化成数字量 ，还有一个温度测量功能，这样客户在使用时不用再设计微弱信号减弱，直接用单片机把数据读取出来。

3、工艺：基于石英QMEMS工艺，石英改良模及石英振梁的一体化加工，这个技术有自主知识产权，在国内也是批量生产化生产。

4、创新方案：石英加工技术和传感器微弱信号检测、ic技术。

5、结构：石英绝压芯体（表头/机械部件）：有三条梁组成，中间这个是音差/感压枕梁，外面有压力输入会引起感压枕梁的频率变化，上面是基本枕梁（不受压力变化影响，但是会随着温度发生变化），下面是一个配重枕梁，基本枕梁和配重枕梁的差值就是感压枕梁，从而提高产品的精度。

6、封装材料：封装的材料一半是316L。

7、输出信号：压力直接可转成频率信号，产品主要通过频率的变化反应压力的变化。

应用领域：

气压高度表、飞行器大气数据系统、液位测量、压力变送器、流量测量、工业控制，能源行业，具体包括制药行业、监测油井和天然气井、海洋工程、电蒸汽锅炉过程测量等需要高精度、长期稳定性、温度特性、静压特性等领域。