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2012/7/31 11:19:20对于真空度的标识通常有两种方法:
真空泵种类 | 起动压强(Pa) | |
1×105 | 活塞式真空泵 | 1×105~1.3×102 |
1×105 | 1×105—6.7×10-1 | |
1×105 | 水环式真空泵 | 1×105—2.7×103 |
1.3×103 | 罗茨真空泵 | 1.3×103—1.3 |
1.3—1.3×10-5 | 涡轮分子泵 | 1.3 |
1×105 | 水蒸气喷射泵 | 1×105—1.3×10-1 |
1.3×10-7 | 油扩散泵 | 1.3×10-2—1.3×10 |
<1.3×105 | 油蒸气喷射泵 | 1.3×10—1.3×10-2 |
1×105 | 分子筛吸附泵 | 1×105—1.3×10-1 |
6.7×10-1 | 溅射离子泵 | 1.3×10-3—1.3×10-9 |
1.3×10-2 | 钛升华泵 | 1.3×10-2—1.3×10-9 |
1.3×10 | 锆铝吸气剂泵 | 1.3×10—1.3×10-11 |
1.3—1.3×10-1 | 低温泵 | 1.3—1.3×10-11 |