微波光电导载子复合寿命测试仪/少子寿命测试仪 型号：HAD-100A
HAD-100A型微波光电导载子复合寿命测试仪是参照半导体设备和材料际组织SEMI标准MF1535-0707及家标准GB/T 26068-2010制。并且我单位是微波反射法家标准起草单位之。本设备采用微波反射无接触光电导衰退测量方法，适用于厚度为1mm以下的硅片、电池片少数载子寿命的测量，提供无接触、无损伤、数字显示的快速测量。寿命测量可灵敏地反映半导体重金属污染及缺陷存在的情况，是半导体质量的重要检测项目。
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