分子增压泵是基于拖动原理的高真空泵,同时具有优良的中真空抽气能力,是我国拥有独立知识产权的新一代真空泵,虽然姗姗来迟,但面对蓬勃发展的真空技术领域,正赶上了大好时机。分子增压泵的问世,使得广大的真空技术用户能再丰富多彩的泵种增加了选择的机会。为了更好地为真空产业服务,特将该泵与有悠久历史的涡轮分子泵从工作原理上做简单介绍。
一、涡轮分子泵和分子增压泵的相同点和不同点
1、 共同点:
涡轮分子泵和分子增压泵都是高真空泵,极限真空,都工作在很高的转速下,都有很高的压缩比,所有都可以获得清洁真空。
2、 不同点:
目前国内生产的以及绝大部分国外生产的涡轮分子泵都是立式泵,而分子增压泵
是卧式泵,卧式泵对共振的控制比立式难度大,分子增压泵的工作压力和排气流量均比涡轮分子泵高出很多,可以达到数百帕;涡轮分子泵的转子是由涡轮叶片构成,而分子增压泵的转子是由平圆盘构成;涡轮分子泵工作在分子流状态,而分子增压泵可以工作在分子流和过度流状态。
二、涡轮分子泵和分子增压泵的工作原理
1、涡轮分子泵的工作原理
涡轮分子泵的传输几率原理就是使得气体分子沿某方向容易通过,而反反方向难以通过,这样造成气体分子从两边通过它的传输几率不同,这样气体分子便会堆积传输几率小的一方,形成压力差。任何一种能使气体从低压向高压流动的手段都可以形成一中抽气作用,涡轮分子泵就是依靠结构两边传输几率的差异来产生抽气能力的。
2、分子增压泵的工作原理
分子增压泵的抽气的原理是把直线运动转化为圆周运动来达到拖动的目的,为此,分子增压泵的抽气级的静轮(又称堵片)为空心金属圆环上由多条弧形金属分割成六个螺旋通道。
三、分子增压泵的特点
由分子增压泵工作机理和结构决定了该泵具有一系列特点供人瞩目。
1、工作压力高。
2、分子增压泵开始抽气便进入所谓“横流量“工作模式中真空有很高的抽气效率。
3、节省了罗茨增压泵。
4、分子增压泵对前级泵的抽速要求较低。
5、很强的抗高压强甚至大气的冲击能力。
6、轴承尺寸小,机械轴承的寿命超过2万小时。