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HMDS基片预处理系统其产品特点有以下几点：
1、机外壳采用医用级不绣钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。
3、微电脑智能控温仪，具有设定、测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温，可靠。
4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程度时间。
5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无处漏顾虑。
6、整个系统采用材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。