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一、洁净室的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区，并应符合下列要求：

　　1、洁净室（区）人员净化、物料净化和各种辅助永房，应合理分区布置。

　　2、生产工艺或生产设备有特殊要求时，宜分隔为单独的房间。洁净室布置

　　3、生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔。

　　4、发热量、发尘量大的生产工序或生产设备，宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置。

　　5、洁净室（区）的辅助设备、维修间等区，宜集中布置在洁净室（区）的相邻房间，区的空气洁净度等级应低于洁净室（区）的等级。

　　6、若需在洁净室（区）内设置洁净电梯时，应采用气闸间、洁净送风措施。

　　7、应符合有关防爆、防火、消防等要求。
 
二、洁净室（区）的空间布置应满足下列要求：

　　1、生产设备、物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置，并应做到有效、灵活和操作方便。

　　2、各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要求。

　　3、终端空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布置，应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求。洁净室布置

　　4、洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定。技术夹层高度应根据具体工程要求确定。洁净室布置
 
三、洁净室（区）内应少分隔，但下列情况应予分隔：洁净室布置

　　1、按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时，应设隔墙。

　　2、在电子产品生产过程中，经常不同时使用的两个生产区段或房间之间。

　　3、生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染的工艺、设备，宜分隔设置独立房间。
 
四、洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的需要。