*真空系统的工作原理

*真空系统的作用和工作原理
*真空系统概述：
*真空系统可适用于集中供应多个真空终端，*真空系统拥有抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该*真空系统的控制系统由*的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。其广泛应用于电子工业、半导体运用、空间模拟、科研领域、实验室、机械加工等行业。
*真空系统的工作原理：
启动系统时，主真空泵组开始工作，直到真空罐内真空度达到设定的上限值，真空泵自动停止运行，*真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时，备用真空泵组自动启动。由此循环往复，真空系统的真空度能够维持稳定的真空源，满足生产的要求。
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