苏州腾诺电子科技有限公司
2016/6/6 17:46:05《洁净室施工及验收规范》JGJ7190
一、室内气流流型的检测
1测点布置:
垂直单向流(层流)洁净室选择纵、横剖面各一个,以及距地面高度08m、15m的水平面各一个;水平单向流(层流)洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个,以及距送、回风墙面05m和房间中心处等3个横剖面,所有面上的测点间距均为02~1m。乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个,剖面上测点间距为02m~05m,水平面上测点间距为05~1m。两个风口之间的中线上应有测点。
2测定方法:用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向,并在有测点布置的剖面图上标出流向。
二、流线平行性的检测
1用单丝线观察送风平面的气流流向,一般每台过滤器对应一个观察点。
2用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度,注意避免人的干扰。
三、自净时间的检测
1本项测定必须在洁净室停止运行相当时间,室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定,则可当时发烟。
2如果以大气尘浓度为基准,则先测出洁净室内浓度,立即开机运行,定时读数直到浓度达到zui低限度为止,这一段时间即为自净时间。如果以人工(如发巴兰香烟)为基准,则将发烟器放在离地面18m以上的室中心点发烟1~2min即停止,待1min后,在工作区平面的中心点测定含尘浓度,然后开机,方法同上。
3由测得的开机前原始浓度或发烟停止后1min的污染浓度(N0),室内达到稳定时的浓度(N),和实际换气次数(n)查附图63,得到计算自净时间,再和实测自净时间进行对比。
ISO14644 P41
A.2 气流流型
洁净室气流形式可以分为单向流或非单向流两种。如果综合利用两种气流,通常叫做混
合气流。ISO5 级或高于5 级的洁净室通常采用单向流,而ISO6 级或低于6 级的洁净室通常
采用非单向流和混合气流形式。级别较高、不要求采用单向流的洁净室,有时用空气流
速较高的区域把洁净室内的工艺核心区分离开,利用可以被称作单向流的改良的单向流系统
(见附录B 中的例子)。
A.2.1 单向流可以是垂直的或水平的(见图A。2)。两种单向流都依zui终过滤的送风和
回风入口,它们几乎是相对设置,这样才能使气流的流动形式保持尽可能的呈直线状。两种