概述
痕量级杂质气体比如烃类、H2O、CO、CO2、NOx、N2O、H2S等会对高纯氦、高纯氢、高纯氮、其他高纯气体、标准气体以及烯烃类气体的生产带来危害，损坏设备和影响生产质量，甚至对使用这些气体的设备带来致命威胁。便携式痕量空气监测系统专门专业监测并分析ppm微量级、ppb超微量级杂质气体。
原理
便携式痕量空气监测系统基于红外光声光谱技术，拥有脉冲红外光源，通过窄带光学滤波片，形成中红外区10个光谱波段，用于气体分析；超高灵敏度拥有差分悬臂梁光学麦克风技术，可通过10种光学窄带滤波片实现，极窄的光学滤波可去除背景气体的干扰；多个光谱区域可有利于最小的交叉灵敏度。
光声光谱技术可实现短光路光程的高灵敏度测量，更进一步提高了非线性补偿技术，可实现宽量程可达5级的线性动态量程比。
优点
⚫带有增强悬臂梁光学麦克风的红外光声光谱技术
⚫电子脉冲红外光源
⚫镀金采样气室恒定温度50℃
⚫超灵敏的基于MEMS差分悬臂梁传感器光学麦克风，耦合激光干涉测量悬臂梁微观移动
⚫内置带有5.7"前置显示器的嵌入式计算机可设置气体报警阈值
⚫数据存储约2GB，连续存储9种气体可达1年
⚫测量结果可以通过U盘，USB口，Ethernet网口，串口导出
⚫后面板有四路气体连接口，两路为采样接口，配有粉尘颗粒物过滤器
⚫自动补偿温度、压力等变化工况的干扰
⚫自动去除包括水汽、颗粒物等采样气体的干扰
