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D07-11CM 高气压气体流量计
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生产厂家七星流量计一家专业提供流量测控解决方案的供应商,传承在气体流量测控领域40多年研发生产实力,始终以技术创新为基点,致力于为客户过程控制中精确测量控制气体的研究;致力于成为**的气体流量测控产品服务商;致力于帮助客户提升设备性能;致力于实现核心零部件中国造的产业梦想。
七星流量计气体流量测控产品不断迭代升级,深挖技术,优化产品,拓宽产品线,为半导体、燃料电池、太阳能、真空镀膜、分析仪器等行业客户需求提供定制化气体测控解决方案及产品维护服务,其营销服务体系覆盖欧、美、亚等主要国家和地区。
未来的七星流量计,将继续专注气体流量测控,深耕发展,未来,坚持以客户需求为导向的持续创新,中国MFC行业发展。
产品型号 | D07-11CM |
产品类型 | 高耐压型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
产品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
响应时间 | ≤10sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
输入输出信号 | (0~5)VDC |
电源 | ±15V |
阀类型 | 无阀 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | <0.02 MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | 双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4” |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 1Kg |