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匀胶机

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科睿设备有限公司

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科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化,为广大中国用户提供仪器、设备,周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国,纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域,都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代,我们愿意化为一座桥梁,见证中国科技水平的提升,与中国科技共同飞速成长。
      科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)总部设在中国香港,在中国上海设立了分公司,在国内多个城市设立了办事处或维修站,旨在为客户提供*的产品和服务。2010年,科睿设备有限公司在上海设立备品仓库及维修中心,同时提供在大陆的各项技术服务和后期的维修保障服务,我们拥有专业的应用维修人员,并且都曾到国外厂家进行了专门的培训。上海配备了多种维修部件,能使我们的服务更加快捷和方便。我们承诺24小时电话响应,72小时内赶到现场维修。以利于更好、更快的为中国大陆服务!
      因为信任,所以理解.我们理解用户的困难和需求。我们已经为国内众多科研院所和大学根据用户的要求配制和提供了上百套系统,主要用户包括:中科院物理所,中科院半导体所,中科院大连化学物理研究所,国家纳米中心,上海纳米中心,北京大学,清华大学,中国科技大学,南京大学,复旦大学,上海交通大学,华东理工大学,浙江大学,中山大学,西安交通大学,四川大学,中国工程物理研究院,香港大学,香港城市大学,香港中文大学,香港科技大学等。



详细信息

仪器简介:

    MIDAS为匀胶机(又称为旋涂仪、甩胶机、Spin Coater等)的知名国际品牌,目前全球用户超过1800台,在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉,高性价比。
    匀胶机有许多名称:甩胶机、涂胶机、涂层机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂膜仪等, 主要应用于溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作。其工作原理是高速旋转基片, 利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上, 厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同, 也和旋转速度及时间有关。
  适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
    马达的皮实耐用性能及高速旋转时转速的稳定性和均匀性是进口设备和国产设备的区别!!
    此型号在国内高校研究单位被广泛使用,是进口设备中性能价格比最高的型号,到货期短(一般2周到货),使用简单(用户均可自行安装操作),维修快捷,3年内正常使用不会出问题。

技术参数:

时间 Time : 1~999秒,可调节
基底尺寸 Substrate Size:   ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸可选择
卡盘旋转速度 Chuck Rotation Speed :  300~8000 rpm,直流伺服马达/交流伺服马达
匀胶状态 Spin State:   50步,20个方案控制(数字程序编辑) 
面板数字式编程,液晶显示,操作方便
碗腔尺寸 Bowl Size:   8英寸,铝(经阳极氧化工艺)/12英寸,SUS
增/减速率 Accele/deceleration Rates:   可调节
真空卡盘 Vacuum Chuck :  铝(阳极氧化),乙缩醛(Acetal)
电源 Electrical Power :  220V, 5A
自带无油真空泵 Oilless Vacuum Pump:   - 650 mmHg
尺寸(mm) Dimension:   230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280

主要特点:
1) 桌上型,涂膜厚度范围:100nm~100um;
2) 可用于光刻胶(PR),聚酰亚胺(Polyimide),金属有机物(Metallo-organics),搀杂剂(Dopant),硅薄膜(Silica Film),以及大多数的有机溶液、水溶液;
3) 紧凑型设计,用户编辑、控制、存储、取出涂胶程序,易于操作;
4) 加速及减速速率基于设定的时间/转速(Ramp Time/RPM value)自动计算;
5) 用户通过前面板显示屏和按钮进行编辑、控制、存储、取出涂胶程序,并进行实验操作。

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