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TYG-2000/T2步进投影光刻机

型号
参数
价格区间:面议 仪器种类:微流控芯片系统 应用领域:医疗卫生,环保,电子
安徽智微科技有限公司

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安徽智微科技有限公司是一家专注于微流控领域产品和技术服务的企业,公司拥有多名微流控行业资深销售和技术人员,凭借强大的资源整合能力和技术研发实力,为您提供一站式微流控产、学、研服务。
主营业务包括:

1.微流控芯片:所有材质的微流控芯片的研发、设计、加工、处理、封装。

2.微流控芯片的组件、配件、耗材:光刻胶、PDMS、以及其他耗材。
3.微流控芯片相关设备:微流控芯片加工、微流控芯片封合、微流体驱动、微流体控制、微流控芯片表面处理、温度控制、样品前处理、以及其他设备。
4.微流控芯片实验室组建:微流控芯片实验室的整体解决方案,包括设计、组建以及实验室相关技术输出。

5.微流控芯片量产设备与服务:提供有机材质(PDMS、PMMA等)和无机材质(石英、玻璃等)微流控芯片批量生产设备以及批量代加工服务。

6.微流控系统开发:基于微流控芯片技术的终端应用,可开发细胞、免疫、生化、分子诊断方面设备。

详细信息

产品名称:TYG-2000/T2步进投影光刻机
主要技术指标:
   曝光场面积:20mm×20mm
   分辨力:2μm;
   照明不均匀性:±2%
   物镜倍率:2.5倍(缩小)
   光源:350W球形汞灯(曝光谱线: i线)
   基片尺寸:4 英寸
   工件台运动范围:X:>150mm、 Y:>150mm;
   工件台运动定位精度:±0.65μm
   调焦台运动灵敏度:1μm
   对准精度:±0.5μm
   调焦台运动行程:5mm
   检焦:CCD检测,检测精度0.5微米
   转动台行程:±4°以上
   基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可适应非标准片或碎片),厚度:0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步进投影光刻机主要技术配置:
(1)照明系统:冷光椭球镜;   350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗);   XYZ汞灯调节台;   光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜负透镜、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2;   冷却风扇
(2)工件台系统:X台:电机驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本NSK)、导轨2(日本THK)、光栅(美国)   Y台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本NSK)、导轨2(日本THK)、光栅2(美国)   转动台:电机及驱动器(日本乐孜),转动轴系 调平台:电机及驱动器(3套)、调平机构   Z台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠、上升导向机构; 承片台:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
(3)检焦系统:焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件
(4)对准系统:对准光学检测系统(2套)、CCD(2套)、对准软件
(5)电控系统:汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、显示器、接口
(6)其他部件:底座 减震器(4个);控制柜桌;气动系统;电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表
(7)其他附件:真空泵一台(无油泵);空压机一台(静音泵);管道

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产品参数

价格区间 面议
仪器种类 微流控芯片系统
应用领域 医疗卫生,环保,电子
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
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