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URE-2000/35型紫外光刻机

型号
参数
价格区间:面议 仪器种类:微流控芯片系统 应用领域:医疗卫生,环保,电子
安徽智微科技有限公司

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安徽智微科技有限公司是一家专注于微流控领域产品和技术服务的企业,公司拥有多名微流控行业资深销售和技术人员,凭借强大的资源整合能力和技术研发实力,为您提供一站式微流控产、学、研服务。
主营业务包括:

1.微流控芯片:所有材质的微流控芯片的研发、设计、加工、处理、封装。

2.微流控芯片的组件、配件、耗材:光刻胶、PDMS、以及其他耗材。
3.微流控芯片相关设备:微流控芯片加工、微流控芯片封合、微流体驱动、微流体控制、微流控芯片表面处理、温度控制、样品前处理、以及其他设备。
4.微流控芯片实验室组建:微流控芯片实验室的整体解决方案,包括设计、组建以及实验室相关技术输出。

5.微流控芯片量产设备与服务:提供有机材质(PDMS、PMMA等)和无机材质(石英、玻璃等)微流控芯片批量生产设备以及批量代加工服务。

6.微流控系统开发:基于微流控芯片技术的终端应用,可开发细胞、免疫、生化、分子诊断方面设备。

详细信息

 

产品名称:URE-2000/35型紫外光刻机
主要技术指标:
曝光面积:100mm×100mm
分辨力:1um(胶厚1.5μm的正胶)
对准精度:±0.8μm
大胶厚:300μm(SU8胶)
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
照明均匀性:±4%(Ф100mm 范围)
汞灯功率:350W(直流)
掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
URE-2000/35型紫外光刻机技术特点:
创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。

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产品参数

价格区间 面议
仪器种类 微流控芯片系统
应用领域 医疗卫生,环保,电子
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