- 面议
参考价：
起订量：
CIF透射电镜样品杆清洗机
- 型号
该企业相似产品
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
一、产品简介
CIF透射电镜样品杆清洗机采用远程离子清洗源设计，清洗快速高效，低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。
二、CIF透射电镜样品杆清洗机 产品特点
1. 远程离子清洗源
2. 一机多用
3. 清洗快速高效，低轰击损伤
三、技术参数
产品型号 | CIF-TEM |
等离子电源 | 13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-120W可调 |
远程等离子源，自动匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸Ø180xH100mm |
清洗数量 | 可同时清洗3支TEM样品杆 |
适配品牌 | THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL |
气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC）可选双路。50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 质量流量计（MFC），皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
真空泵 | 前级泵 |
抽气速率2 L/s | |
分子泵 | |
极限真空:CF:5x10-6Pa，ISO-K: 3x10-5Pa | |
分子泵抽速 >80L/s （N2） | |
入口法兰：DN100CF/DN100 ISO-K | |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
电 源 | 220V，50/60Hz，300W |
