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Axio Imager Vario 半导体专用显微镜
- 型号
- Axio Imager Vario
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北京凯瑞永科技有限公司成立于2021年，拥有一支具备多年工作经验、技术精良的业
务工程师团队。
北京凯瑞永科技有限公司主要销售德国蔡司工业质量领域的工业显微镜、电子显微镜及
X射线显微镜等相关产品。经过多年的积累与发展，北京凯瑞永能为广大客户提供技术咨询、
产品选配、安装调试、应用指导、维护保养在内的全套专业服务。
北京凯瑞永客户主要涵盖汽车制造、航天航空、船舶军工、电力、石油石化、电子半导
体等行业，高等院校、科研院所、工业材料、军工系统、压力容器、特种检测、新型材料研
发、精密仪器制造等领域。中国商飞、济南重汽、宇通客车、长城汽车、北京奔驰、富士康、
比亚迪、中通客车、金雷风电、洛阳中收、三一重工等企业都是我们长期服务的优质客
户。
蔡司工业质量解决方案
您多维工业质量解决方案的合作伙伴
我们的产品包括坐标测量机、光学三维扫描系统和多传感器系统、工业显微系统以及应
用于汽车、飞机、机械工程、塑料和医疗技术行业等的计量软件。同时，作为富有创新的产
品和服务提供商，蔡司工业质量解决方案不断攀登科技高峰，开发用于质量检验的三维X
射线等创新技术以完善产品组合。蔡司工业测量技术部生产和供应多维测量实验室、数控
三坐标测量机和解决方案。该公司是汽车行业的合作伙伴和供应商。在四
个国家的生产基地和全球100多个销售和服务点，一共拥有2,400名员工。
详细信息
从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。AxioImagerVario支持的最大样品高度为254mm，最大横向样品空间为300mm，大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。
洁净室
半导体生产和晶圆检测需要在洁净室内进行。根据DINENISO14644-1标准，以每立方米的颗粒数量和大小将洁净室划分成不同等级。AxioImagerVario已通过此标准认证，并满足5级洁净室的应用要求。ISO5级洁净室相当于原先标准FEDSTD209E（1992）的100级。洁净室套件中包含一个7x物镜转盘、一个颗粒保护罩和防喷嚏保护罩。
半导体专用显微镜优势：
1、具有两种手动机柱和一种电动机柱（配有符合工业标准的三个模式控制按钮）可供选择，充分利用显微镜的最大横向样品空间300mmx300mm和最大样品高度254mm的优势。
2、AxioImagerVario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品，依然可以获得高聚焦精度和可重复性。
3、半导体专用显微镜借助硬件自动对焦功能，可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
4、将AxioImagerVario与LSM900结合使用，能够以高分辨率无接触地分析敏感样品。
5、AxioImagerVario已通过DINENISO14644-1认证，并满足5级洁净室的应用要求。
