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HEP-MC8000 晶圆检测机
- 型号
- HEP-MC8000
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武汉赛斯特精密仪器有限公司是武汉市专业研发，以力学试验机仪器为主，同时销售各种、中低端分析仪器。现有员工60多人，公司成功开发了PCI放大采集卡和中文版试验软件，并采用全数字化，操作简捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等标准、国家标准、行业标准的要求，公司亦通过了ISO9001质量体系认证和国家计量体系认证，荣获了“武汉市第九界消费者满意单位”的称号。
产品广泛应用于电子、高校、政府研究机构、环保机构、石油化工、纺织制造、第三方检测机构、*别研究院、新能源、集成电路、芯片、封装测试、半导体行业、显示器领域、光电材料、锂电池、机械生产等领域。并与武汉理工大学、华中科技大学等建立了长期合作，每年投入大量研究经费，招揽各方优秀的技术人才加盟突破国内技术壁垒，不断攻克新的技术难题，另外公司还积极拓展海外业务，产品远销越南，印度，埃及等国家和地区。
本着“专业品质，专业服务”为宗旨，以“科技、品质、竞争、创新”为理念，通过不断汲取新的技术，新的理念，继续开发研制新产品，并为广大客户提供优质的售前，售中，售后服务。热烈欢迎广大新老朋友业函，来电，莅临我公司参观指导！
详细信息
检查项目 | 指 标 | 备 注 | |
表面缺陷检查 | 崩边（非立崩）、缺口 | 可检能力≥170um*170um 检出率100% | 图像灰度值差距>30；列出大小指标是可检能力，设置过小会存在误判多的问题，因此设定参数需按实际生产需求设定； |
沾污 | 可检能力≥170um*170um 检出率≥95% 误检率<0.5%（大小≥450um*450um情况下或实际生产需求设定的指标） | ||
划伤 | 可检能力≥170um*170um 检出率>95%（大小≥170um*450um情况下或实际生产需求设定的指标） 划伤浅易漏检 | ||
3D检测 | 厚度 | 检测精度分辨率+/-0.25um 测量重复性：≤±1μm GR&R<10% | 最大、最小、平均值 |
TTV | 测量精度+/-2um GR&R<10% | TTV整条线 | |
翘曲、变形 | 测量精度+/-2um GR&R<20% | 最大值 | |
平面度 | +/-0.5um | 偏差值 | |
粗糙度 | 计算值 | ||
处理能力 | 检测周期 | 60s/片 | |
