评定参数

Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2

测量范围

Z轴

800μm

X轴

50mm

直线度精度

直线度精度

0.4μm

分辨率（Z轴）

分辨率（Z轴）

0.001μm

采样数/分解能

采样数/分解能

9600点/16bit

滤波器

滤波器

高斯(Gaussian)滤波器（ISO11562:1996），2RC滤波器

取样长度

取样长度

λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）

截止波长

截止波长

0.25,0.8,2.5

测量速度

测量速度

0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

返回速度

返回速度

（自动） 1mm/s

示值误差

示值误差

±5%

示值稳定性

示值稳定性

3%

测量重复性

测量重复性

3%

图形放大倍率

图形放大倍率

10-500000自动调整

传感器

传感器

针尖 R=2μm钻石（测量力1mN）

R=5μm钻石(测量力4mN）