马尔粗糙度轮廓仪

产品特点 :

l  高速移动和定位

l  130mm/260mm长测量行程以及大测头测量范围

l  创新测针系统以及仿生学测臂设计

l  磁性的测臂夹持装置和测臂识别装置

l  粗糙度和轮廓度二合一

l  基于友好服务理念的模块化设计

马尔粗糙度轮廓仪

技术参数:

水平轴的特征：

Ø  行程长度(Lt)：0. mm to 260 mm

Ø  定位速度：0.02 mm/s 到 200 mm/s

Ø  测量速度：0.02 mm/s 到 10 mm/s; 粗糙度测量 推荐速度0.1 mm/s至0.5 mm/s

Ø  X方向取样间距：0.05 μm至30 μm,可调整

Ø  每次测量多测量点：5200000点

Ø  分辨率：0.8 nm

Ø  X轴测量的不确定度：± (0.2+l/1000) μm; l 单位 mm

测头系统特征：

Ø  测头测量范围：26 mm (200 mm测臂)

Ø  分辨率：0.8mm

Ø  测量力：0.5 mN to 30 mN, 可通过软件设置

残余误差 Rz0, Rq0：

Ø  vt = 0.1 mm / s时的残余误差：Rz0≤ 20 nm  Rq0≤ 1 nm, typical

轮廓：

Ø  距离测量显示误差：± (1.0+l / 150) µm; l 单位 mm

Ø  半径测量显示误差：(R ≤ 10 mm) ± 1 µm (10 mm < R ≤ 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm