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1、测试前仪器、流量计、真空计和阳性样品都应进行校准、保证 是在有效期内进行测试
2、每个产品对应的测试腔体都需要进行3Q验证后，方可进行方法 学验证
3、测试液体包装是需要考察样品的性质，如粘度和蒸汽压，测量 时的真空度需小于液体的蒸汽压
4、 测试过程中，时间的参数设置非常重要，合适的时间参数保证 仪器能够达到理想的真空状态，而要避免产品中的气体在测试 中被抽完
优点：
1、具有高灵敏度的质量流量传感器
2、测试不损坏包装，可重复利用，对于成本较高的产品可减少损 失
3、可以明确泄露的大小
4、 可以适用于产品的稳定性调查研究
5、测试时间短
6、检测限可以达到1um
