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3D光学干涉轮廓仪是利用光学原理开发的非接触测量仪器，更能满足现代工业数字化测量的高精度、低成本和小型化需求。具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
3D光学干涉轮廓仪工作原理
光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
NanoX-2000/3000系列3D光学干涉轮廓仪优势
1、美国硅谷研发的核心技术和系统软件
2、关键硬件采用美国、德国、日本等品牌
3、PI纳米移动平台及控制系统
4、Nikon干涉物镜
5、NI信号控制板和Labview64控制软件
6、TMC光学隔振台
7、测量准确度重复性达到高级水平(中国计量科学研究院证书)
