芯片测试探针台产品介绍

我司根据客户实际应用需求，推出该款结构小巧，功能实用，性价比高的简易模块化探针台，芯片测试探针台系统包括显微成像模块、四维调整载物台、真空吸附系统、探针座、隔振平台等。 多用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、侧料电阻率测试以及搭建材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统等。

技术优势

模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；

探针台整体位移精度达3um，样品台四维精密调节；

兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试；

兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降；

漏电精度可达10pA/100fA/10fA（屏蔽箱内）；

探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；

满足1um以上电极/PAD使用；

加宽探针架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；

搭配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种位移行程及驱动方式。

细节展示

通用参数

产品示意图

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。

测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。

应用领域：

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。