ULVAC/日本爱发科 品牌
经销商厂商性质
深圳市所在地
精品 电磁隔膜鼓风机 日本原装 TOHIN东滨
¥3265日本TECH-TRY 数字 精品 照度计 LM-111
¥15608日本TECH-TRY 数字 精品 照度计 LM-555
¥15608日本TECH-TRY 数字 精品 照度计
¥15608OHKURA大仓 自动记录式 精品 流量控制器
¥3852OHKURA大仓 自动记录式 精品 流量控制器
¥3852OHKURA大仓 自动记录式 精品 液位计
¥3852OHKURA大仓 记录仪 库仑计 BOD测量装置
¥3852OHKURA大仓 记录仪 带记录功能的数字 pH计
¥3852OHKURA大仓 记录仪 数字指示 精品 控制仪
¥3268OHKURA大仓 无纸 进口 精品 记录仪
¥3268OHKURA大仓 混合 进口 精品 记录仪
¥3268ULVAC爱发科 精品 手动 高速光谱 椭偏仪
ULVAC爱发科 精品 手动 高速光谱 椭偏仪
可以进行映射测量的自动台型
UNECS系列是一种分光椭偏仪,可以高速、高精度地测量薄膜的厚度和折射率。采用测量方法,实现高速测量和紧凑化。我们提供广泛的产品阵容,以适应不同的应用,包括便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能,可快速自动测量基材表面内的膜厚分布,并将结果显示在彩色图上。
用途
透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等)的膜厚、折射率、消光系数的测量
特征
高速测量:
采用快照方式,实现了最高速度20ms的高速测量。
兼容可见光谱:
波长范围可选择标准型(530nm~750nm)和可见光谱型(380nm~760nm)。
紧凑的传感器单元:
光发射/接收传感器仅由光学元件组成,没有旋转机构,并且非常轻便和紧凑,并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容:
我们拥有可适应各种应用的产品阵容,包括便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。
模型 | 1500A | 2000A | 3000A | |
波长范围 | 530~750nm、380~760nm(任选其一) | |||
光斑直径 | φ1mm、φ0.3mm(任选其一) | |||
入射角度 | 70º固定 | |||
膜厚再现性 | 1σ = 0.1nm | |||
膜厚范围 | 1nm〜2μm | |||
测量时间 | 受光:20ms 〜 3000ms 演算:300ms | |||
阶段 | φ150mm自动 | φ200mm自动 | φ300mm自动 | |
自动测量 | 200点 | 200点 | 2,000点 | |
控制电脑 | 笔记本型(带操作/分析软件) | |||
机器构成 | 测量单元、控制器、操作电脑(笔记本型)、使用说明书(CD) |