耶拿等离子体质谱仪根据被测元素通过一定形式进入高频等离子体中，在高温下电离成离子，产生的离子经过离子光学透镜聚焦后进入四极杆质谱分析器按照荷质比分离，既可以按照荷质比进行半定量分析，也可以按照特定荷质比的离子数目进行定量分析。
该类型质谱仪主要由离子源、质量分析器和检测器三部分组成，还配有数据处理系统、真空系统、供电控制系统等。
耶拿等离子体质谱仪的基本原理：
样品进行分析时一般经过以下四步：
1）分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入氩气流中，然后进入由射频能量激发的处于大气压下的氩等离子体中心区；
2）等离子的高温使样品去溶剂化、汽化解离和电离；
3）部分等离子体经过不同的压力区进入真空系统，在真空系统内，正离子被拉出并按其质荷比分离；
4）检测器将离子转化为电子脉冲，然后由积分测量线路计数；
电子脉冲的大小与样品中分析离子的浓度有关，通过与已知的标准或参比物质比较，实现未知样品的痕量元素定量分析。
耶拿等离子体质谱仪的日常维护：
1、根据样品情况和频次经常清洗雾化器、炬管及锥，检查废液瓶，倾倒废液，检查、添加、更换循环冷却水。根据【IF/BK真空度】数值判断截取锥状况，界面系统真空高于500Pa时需要维护。
2、每年或每半年（根据开机时长）清洗离子透镜，更换机械泵泵油，更换气体管路，更换密封O环，更换废液管，检查/更换机械泵油过滤器。
3、在高温和潮湿天气，应常开空调或除湿机降低房间内的温度和湿度，保持仪器性能稳定；如使用频率不高时，应经常开启仪器，让仪器运行一段时间。
