臭氧紫外线空气消毒机
臭氧易于分解无法贮存需现场制取现场使用（但是特殊的情况下是可以进行短暂时间的贮存）凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器在自来水。工业氧化，空间灭菌等领域广泛应用。
臭氧是的广谱高效杀菌消毒剂。采用空气或氧气为原料利用高频高压放电发生臭氧。
臭氧比氧分子多了一活泼的氧原子臭氧，化学性质特别活泼，是一种强氧化剂，一定浓度下可迅速杀灭空气中的细菌。没有任何有毒残留，不会形成二次污染，被誉为“最清洁的氧化剂和消毒剂”
优点：
●适用于各种基材的无损清洗。
●易于去除超声波清洗无法清洗干净的基材表面的有机污染物。
●能够去除湿洗过程中残留的有机溶剂。
●常压下工作。无需真空环境。
●薄膜涂层基体预处理的理想解决方案。
应用
薄膜涂层的预处理
●功能膜的清洗(如ITO膜)
●各种薄膜沉积工艺前的清洗光刻胶去除
●电子、机械和光学部件的清洁(如:硅片、透镜、镜面、太阳能电池板、液晶面板和路板等)
●改善塑料表面涂层的粘接性能。
电子显微镜相关
●去除SEM/TEM样品表面有机物污染
●提高金刚石、玻璃刀、支撑膜的润湿性和亲水性
其它
●原子力显微镜悬臂梁的清洗
●聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面改性
●超高真空密封件的清洗
●清除助焊剂
●有机功能材料的刻蚀
●玻璃脱气去除晶圆表面切割带和标记墨水
●Ta2O5薄膜退火。
