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化工仪器网 厂商报道】近日，睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称：睿励科学仪器)宣布完成近5亿元B轮融资，本轮融资由金石投资、招商致远领投，清控金信、河南资产、鼎青投资等资方跟投。融资资金将用于高精度光学量检测系列产品的研发和市场化推广，丰富公司的产品矩阵，加速扩大生产并加强公司的市场拓展和品牌建设等。
睿励科学仪器是于2005年创建的合资公司，是一家专注于半导体前道工艺的量检测设备公司。自成立以来，一直致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备，为国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”，具备全自主研发技术。
近年来，随着国内半导体产业的快速发展和产业升级，对高端、精密的半导体设备需求不断增加。半导体检测设备也被认为是位列刻蚀、薄膜沉积、光刻后的晶圆厂设备(WFE)第四大市场，其规模约占半导体设备市场的13%。
关注到半导体行业和国产化替代的广阔市场，睿励科学仪器在高精度光学量测和检测领域持续耕耘，提出自研算法模式、独立设计的光学架构，打破国际厂商垄断，已在先进制程工艺节点率先完成了介质膜厚量测产品和明场缺陷图形检测产品的交付和大规模量产。
本次融资成功不仅为睿励科学仪器带来资金支持，更为其后续的技术研发、市场拓展及产业链优化注入了强大动力。可以预见，随着更多国内企业加入到高端半导体检测设备的研发和制造中，将有效推动我国在半导体领域的自主创新能力和国际竞争力，加速实现高端仪器的国产化进程。
素材来源：36氪创投平台
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