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VPG 300 无掩模直接成像仪
- 型号
- VPG 300
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
| 写入模式 | 我 | 第二 |
|---|---|---|
| 写作表现 | ||
| 最小特征尺寸 [μm] | 0.5 | 0.8 |
| 最小行数和间距 [μm] | 0.8 | 1.2 |
| 地址网格 [nm] | 4 | 8 |
| 边缘粗糙度 [3σ， nm] | 30 | 40 |
| CD均匀度 [3σ， nm] | 50 | 60 |
| 2鼈层对齐（全局）[nm] | 100 | 130 |
| 写入速度 [mm2/分钟] | 340* | 1020* |
| *快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但没有规格 | ||
| 100 x 100 mm 的曝光时间2面积 [min] | 39 | 17 |
| 系统特点 | ||
|---|---|---|
| 光源 | 355 nm 的高功率 DPSS 激光器 | |
| 最大基板尺寸和写入面积 | 300 x 300 毫米2 | |
| 基板厚度 | 0 至 12 mm （可根据要求提供其他厚度） | |
| 最大曝光面积 | 300 x 300 毫米2 | |
| 自动对焦 | 实时自动对焦系统（光学和气动） | |
| 自动对焦补偿范围 | 高达 80 μm | |
| 流量箱 | （闭环）温控环境试验箱 | |
| 对准和计量 | 用于测量和对准的相机系统和软件包 | |
| 其他功能和选项 | 100、150、200 和 300 mm 晶圆的全自动处理和预对准。光学边缘检测、顶部对准以及可选的红外和背面对准。Zerodur® 载物台和高分辨率差分干涉仪 | |
| 系统尺寸 | ||
| 系统 / 电子机架 | ||
| 宽度 [mm] | 2605 / 800 | |
| 深度 [mm] | 1652 / 650 | |
| 高度 [mm] | 2102 / 1800 | |
| 重量 [kg] | 3550 / 180 | |
| 安装要求 | ||
| 电气 | 400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相 | |
| 压缩空气 | 6 - 10 巴 |