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化工仪器网 厂商报道】近日，南京埃米仪器科技有限公司(以下简称“埃米仪器”)宣布成功完成数千万元的Pre-A轮融资，本轮融资由博将资本领投。此次融资将主要用于进一步提升先进半导体制程用的高精密量测设备的国产替代能力，丰富产品线，并加大市场开拓力度。
埃米仪器成立于2022年8月，总部位于南京江北新区研创园，是一家专注于研发和生产用于芯片制造高精密量测设备的技术企业。自成立以来，公司一直致力于引领国内高精密3D量测设备的国产化进程，不断攻克核心技术难题。
公司以芯片制造企业为主要客户，产品聚焦于纳米/亚纳米级三维结构的高精密高速量/检测装备，主要应用于芯片制程中的微结构量测和缺陷检测。这些产品对于解决相关领域的卡脖子技术具有重要意义，有助于提升我国芯片制造业的整体竞争力。
目前，埃米仪器拥有一支以国家级人才为主的研发核心团队，并与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立了密切合作关系。这些合作不仅提升了公司的技术研发能力，还为公司带来了更多的市场机遇。
量测设备作为半导体设备的第四大市场，规模占半导体设备市场份额的15%左右。在芯片生产过程中，量测设备能够监测、识别、定位、分析工艺缺陷，对于晶圆厂及时发现问题、改善工艺、提高良率具有重要作用。其中，原子力显微镜(AFM)作为目前精度最高的量测设备之一，正在成为先进制程中的主力量测设备。
埃米仪器是国内将在线工业级原子力显微镜产品推向高端制程的公司。其工业级高通量原子力显微镜技术路线已得到客户的认可和大力支持。截至目前，公司已推出多款量测设备，包括在线工业级原子力显微镜量测设备APEX-X1(全自动机台)、科研级原子力显微镜量测设备APEX-1000(半自动机台)、高速光学扫描
轮廓仪UltraView-1000、UltraView-2000等。其中，APEX-X1已完成某芯片头部企业的产品正式交付。
作者：宋池
