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预算超7500万元中科院半导体研究所6月采购大批仪器

化工仪器网 2026-06-05 • 460阅读

　　近期，中国科学院半导体研究所公布6月仪器采购意向，计划采购等离子体增强原子层沉积设备、晶圆平整度检测仪、反应磁控溅射系统、原子层沉积系统、多元素离子注入机、化学机械抛光设备等仪器设备，预算总金额7545.47万元。预计采购时间2026年6月。

　　采购意向只是政府采购的初步安排，具体采购情况以中国科学院半导体研究所发布的采购公告和采购文件为准，有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。

中国科学院半导体研究所仪器采购意向汇总

序号	采购项目名称	预算金额 (万元)	预计采购日期
1	等离子体增强原子层沉积设备	443	2026年6月
2	碳化硅高温氧化炉	540
3	大面积光子晶体电子束曝光系统	1275
4	超精密化合物半导体衬底抛光机	150
5	晶圆平整度检测仪	247.47
6	全自动晶圆激光打标机	86
7	多物理场仿真子系统	305
8	感算融合芯片设计验证系统	480
9	傅立叶变换显微中远红外PL系统	200
10	反应磁控溅射系统	235
11	原子层沉积系统	98
12	电子元器件表面功能化用氧化式化学气相沉积设备	98
13	超高真空脉冲激光沉积系统	325
14	直流脉冲磁控溅射镀膜设备	195
15	多元素离子注入机	800
16	芯片解理系统	180
17	化学机械抛光设备	222
18	光学引线键合系统	672
19	片上激光器三维加工设备	188
20	矢量网络分析仪	476
21	任意波形发生器	330
合计		7545.47
来源：中国政府采购网整理：化工仪器网

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