ICP 等离子刻蚀机是微纳加工领域重要的精密工艺设备，依靠感应耦合等离子体实现材料的高精度图形化刻蚀，广泛应用于第三代半导体、硅基器件、光电子芯片、二维材料、微流控芯片等科研样品制备，是高校公共分析测试中心开展前沿科研实验不可或缺的核心装备。
近日，南方科技大学委托深圳市南科大资产经营管理有限公司就公共分析测试中心ICP等离子刻蚀机采购项目开展公开招标，预算金额250万元。招标项目的潜在投标人应登录深下载获取本项目的招标文件，并于2026年9月14日14时00分(北京时间)前递交投标文件。
一、项目基本情况：
1.项目编号：SZDL2026001209
2.项目名称：公共分析测试中心购置ICP等离子刻蚀机采购项目
3.项目预算：2500000.00元
4.最高限价：2500000.00元
5.采购需求：
| 标的名称 | 数量 | 单位 | 简要技术需求（服务需求） | 备注 |
| 公共分析测试中心购置ICP等离子刻蚀机 | 1 | 项 | 详见招标文件 |
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6.合同履行期限：详见招标文件用户需求书。
7.本项目不接受联合体投标，详见“申请人的资格要求”。
二、申请人的资格要求：
(1)投标人必须具有独立法人资格或经其授权具有承接本项目能力的分支机构(提供营业执照，如果是分支机构投标，还须同时提供其具备独立法人资格的上级主体出具的有效授权书，但只接受直接授权，不接受逐级授权。均为扫描件，原件备查)。本项目不接受总公司与分支机构同时参与投标，也不接受同一总公司有两个或以上分支机构参与投标；如出现以上情形，该两家或以上投标人的投标文件均按无效投标处理；
(2)本项目不接受联合体投标，不接受投标人选用进口产品参与投标。中标后不允许分包、转包。
(3)参与本项目投标前三年内，在经营活动中没有重大违法记录(由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明)。
(4)参与本项目政府采购活动时不存在被有关部门禁止参与政府采购活动且在有效期内的情况(由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明)。
(5)具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款的条件(由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明)。
(6)未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单(由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明)。
注：“信用中国”、“中国政府采购网”以及“深圳市政府采购监管网”为供应商信用信息的查询渠道，相关信息以开标当日的查询结果为准。
(7)不存在《深圳市财政局政府采购供应商信用信息管理办法》(深财规〔2023〕3号)列明的严重违法失信行为(由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明)；
(8)为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动(由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明)；
(9)投标人须提供《供应商基本情况表》(投标文件格式、附件、信息不公开部分、第七项)，不同投标供应商的法定代表人、主要经营负责人、投标授权代表人、项目负责人、主要技术人员不得为同一人或者在同一单位缴纳社会保险;不同投标供应商不得存在单位负责人为同一人或直接控股、管理关系。如存在上述情形或未提供《供应商基本情况表》及所需资料或提供《供应商基本情况表》及所需资料不符合要求，供应商资格审查均不通过。
(10)本项目不属于专门面向中小微企业采购项目。
(11)本项目的特定资格要求：无。
三、获取招标文件
时间：自本公告发布之日起至2026年09月14日(北京时间)。
地点：请有意参加该政府采购项目的供应商登录深圳政府采购智慧(监管)平台后下载招标(采购)文件。
方式：在线下载。
售价：免费 。
凡已注册的深圳市网上政府采购供应商，按照授予的操作权限，可登录深圳政府采购智慧平台下载本项目的招标文件。投标人如确定参加投标，首先要在深圳政府采购智慧平台网上办事子系统网上报名投标，方法为在网上办事子系统后点击“【招标公告】→【我要报名】”；如果网上报名后上传了投标文件，又不参加投标，应再到【我的项目】→【项目流程】→【递交投标(应答)文件】功能点中进行“【撤回本次投标】”操作；如果是未注册为深圳政府采购智慧平台的供应商，请先办理密钥，并前往深圳市南山区沙河西路3185号南山智谷A座(深圳交易集团总部大楼)3楼前台(咨询电话：0755-83948165、0755-83938966、4008301330)绑定深圳政府采购智慧平台用户，再进行投标报名。在网上报名后，点击“【我的项目】→【项目流程】→【采购文件下载】”进行招标文件的下载。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
1.投标截止时间：所有投标文件应于2026年9月14日14时00分(北京时间)之前上传到深圳政府采购智慧平台。具体操作为登录“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统”，用“【我的项目】→【项目流程】→【递交投标(应答)文件】”功能点上传投标文件。本项目电子投标文件最大容量为100MB，超过此容量的文件将被拒绝。
2.开标时间和地点：定于2026年9月14日14时00分(北京时间)，在深圳政府采购智慧平台公开开标。供应商可以登录“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统”，在“【我的项目】→【项目流程】→【开标及解密】”进行在线解密、查询开标情况。
3.在线解密： 投标人须在开标当日14时00分-14时30分(北京时间)期间进行解密，逾期未解密的作无效处理。解密方法：登录“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统”，使用本单位制作电子投标文件同一个电子密钥，在“【我的项目】→【项目流程】→【开标及解密】”进行在线解密、查询开标情况。)。
4.投标提醒
请各供应商在投标前根据《深圳市财政局关于在采购文件及深圳政府采购智慧平台增设供应商投标警示条款等事宜的通知》要求，核实自身是否存在特别警示条款中，关于供应商参与投标禁止的情形。
5.其他说明
本项目不允许使用电子营业执照加、解密。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
