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曝光机

型号
鑫有研电子科技有限公司

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光刻机,显影机,匀胶机,光刻机,烤胶机无油真空泵











“SIYOUYEN”概念源自于21世纪初期美国,意为科技在社会技术方面应用的*体现。拥有“*生活,*科技”之桂冠美誉。

商标持有人:鑫有研企业集团(香港)有限公司系一家专注于微电子工艺设备技术,真空技术,传动控制技术等科技类投资型企业公司。公司投资合作伙伴有意大利MICHELLE集团与香港CIG集团。

1、微电子工艺设备方面

SIYOUYEN公司在半导体、太阳能、FPD领域湿制程设备的设计、研发、生产及销售;同时代理半导体、太阳能、FPD领域及其它国外设备,负责在中国市场的开发、推广、服务!

2、真空技术设备方面

SIYOUYEN公司在真空行业领域,通过引近韩国、德国*的真空技术与合作,开发出了旋片真空泵,无油真空泵,防爆真空泵等。同时与韩国WONCHANG,韩国DOOVAC,韩国NARA,韩国G&M,韩国KMC,意大利DVP,等形成战略联盟,致力于真空技术的推广与销售。

3、传动控制技术方面

SIYOUYEN公司在传动技术方面与国家各个重点科研领域机构合作(质检,光学,教育,航天,海洋,石油,制药,检测等)共同致力于节能减排低碳环保,涉及节能环保技术、设备、产品和服务等方面

鑫有研公司在设计,制造,销售,服务过程中严格按照ISO9001:2000质量管理体系执行。并且本公司拥有一批技术*、服务优良的高素质人才,和完善的售后服务体系。产品以其*的品质进入国内市场,为国家重点工程配套、环保工业、科研、信息产业等做出了较大的贡献,获得了广大用户的好评和信赖。

我们将继续以严谨的态度始终坚持保证产品品质和信誉为本,用户*的经营原则,不断创造、创新服务于用户。


鑫有研(SIYOUYEN)公司及其“SIYOUYEN”品牌在中国的发展历程

2004年SIYOUYEN公司进入中国

2005年成为中国财富论坛会员单位

2005年获得中国半导体行业协会会员单位

2006年成为中国真空学会会员单位

2007年通过ISO9001:2000质量管理体系认证

2008年获得中国商标

2009年SIYOUYEN获得(香港颁发)亚洲证书

2010年SIYOUYEN获得中国质量500强

2010年SIYOUYEN获得中国品牌500强

2010年SIYOUYEN获得上海市诚信AAAA企业证书



详细信息

 

URE-2000系列光刻机
型号:17

 
 

 

一.     技术特征
1、采用多反射镜实现均匀照明;   
2
、采用球气浮找平,调平精度高;      
3
、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,
并提供USB输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光
结果和方便存储;    
4
、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,温度小于35度)       
5
、手动上下版、样片,手动调平;手动分离间隙。       
6
、快门可以单独开启,也可以数字设定自动倒计时曝光(设定范围0.1s-9999s       
7
、采用200W进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度;设备外形美观精制
性能非常可靠
 
 
二、主要技术指标: 
1、曝光面积:ф100mm; 
2、分辨力:  1.7µm(胶厚2 µm的正胶); 
3、对准精度:  ±1µm;   
4、掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm; 
5、掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch; 
6、样片尺寸:直径ф15mm-- ф100mm、 
        厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm); 
7、照明均匀性:±6%(ф100mm 范围); 
8、掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm;  Y: ±5mm; θ: ±6°; 
9、汞灯功率:200W(直流);
10、曝光波长:365nml      
11、曝光能量密度:6mW/cm (420nm以上波长小于0.2mW/cm )l     
12、曝光方式:定时(到计时方式)
13、外形尺寸:650mm(长)´600mm(宽)´900mm(高)
 

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