莱宝分子泵机组​中的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵简介：

随着真空技术和真空应用的发展，新的真空问题不断涌。在这种情况下只是为客户提供真空元部件已越来越不能满足客户的要求。
    莱宝公司作为一个专业的真空设备供应商，始终把为广大客户提供真空解决方案视为己任。在提供具有*秀品质的真空元部件的同时，还为客户度身定做，提供既能满足真空要求，又的*解决方案--真空泵组。
    RUTA 罗茨泵组的抽速由250到32000米³/小时，可以分为两极泵组和多级泵组，极限真空度可达10^-4mbar，乃至更高。除标准产品外，根据不同工艺的需要，还可以为客户专门设计定制应用于某些特殊用途的泵组，并在系统中加装各种附件，如冷凝器、粉尘过滤器、真空计、真空阀、压力控制元件，温度控制元件等。另外，还可以耕具工艺过程，设计可实现全程自动控制的电控柜。

    莱宝分子泵机组​中的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵有五种规格，抽速自50至1100升/秒，极限真空度为＜10^-10mbar。
    其主要特点为：
    - 陶瓷轴承为脂润滑，无维护运行时间长。
    - 允许任意角度安装。
    - 有水冷和风冷两种选择。
    - 对H2的压缩比大。
    - 无油真空泵，可用来产生洁净的超高真空。

TW系列复合分子泵

抽速： 70 ～ 1600 升 / 秒
极限真空度： 10 － 9 mbar
zui大允许前级压强： 6 ～ 14mbar
主要特点有：
- 转子叶片为一次成型，消除了叶片应力，使得前级耐压高达 14mbar ，并能抵抗短暂的大气冲击。
-高效的风冷系统，使其在绝大多数工作条件下无需冷水。
- 变频器与泵体的一体化设计，避免了连接变频器带来的不便。
- 模块化的设计为用户提供了多种选择。
- 结构紧凑，可方便地安装到复杂的系统中。
- 可以任意角度安装。
- 螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。
- 轴承为油脂润滑，无维护运行时间长。
- 无油真空泵，可用来产生洁净的高真空和超高真空。
- 可在轴承需要维护时提前预警。
- 通过通讯接口可以与掌上电脑， PC 或 PLC 联络，以读取分子泵工作状态的参数，以及储存单元的运行记录；并可根据需要对某些参数进行修改，如频率等。
- 高前级耐压降低了对前级泵的要求，使得系统总体造价降低。

 新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵

MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s
•  五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。
•  转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子*运行温度可高达 120 ℃ 。
•  转子及定片均采用莱宝技术的 KAPLAR 涂层
•  较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体；
•  降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命；
•  叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
•  保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（ >600 次），无需更换保护轴承。
•  高真空端连接采用 ISO-F ，连接螺栓强度高，充分保障安全。
•  智能化电源，无需 UPS 。
•  带拖动级，前级耐压在 2mbar 以上。
•  分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。
•  的数字控制技术
•  运行速度、温度可设置；
•  运行数据记录存储，提供多达 180 条运行信息；
•  磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短
•  转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；
•  在气流长时间（ 2 分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。
•  控制器与泵无识别性，可互换。
•  免维护。
典型应用：
适用于
•  所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
•  科研领域
•  镀膜
另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。

上海振畅机电科技有限公司
地址：宝山区月罗公路2120号