德国莱宝真空泵 分子泵机组生产厂家生产的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵有五种规格，抽速自50至1100升/秒，极限真空度为＜10^-10mbar。

 莱宝的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵主要特点为：
    - 陶瓷轴承为脂润滑，无维护运行时间长。
    - 允许任意角度安装。
    - 有水冷和风冷两种选择。
    - 对H2的压缩比大。
    - 无油真空泵，可用来产生洁净的超高真空。

德国莱宝真空泵 分子泵机组生产厂家
抽速： 70 ～ 1600 升 / 秒
极限真空度： 10 － 9 mbar
zui大允许前级压强： 6 ～ 14mbar
主要特点有：
- 转子叶片为一次成型，消除了叶片应力，使得前级耐压高达 14mbar ，并能抵抗短暂的大气冲击。
-高效的风冷系统，使其在绝大多数工作条件下无需冷水。
- 变频器与泵体的一体化设计，避免了连接变频器带来的不便。
- 模块化的设计为用户提供了多种选择。
- 结构紧凑，可方便地安装到复杂的系统中。
- 可以任意角度安装。
- 螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。
- 轴承为油脂润滑，无维护运行时间长。
- 无油真空泵，可用来产生洁净的高真空和超高真空。
- 可在轴承需要维护时提前预警。
- 通过通讯接口可以与掌上电脑， PC 或 PLC 联络，以读取分子泵工作状态的参数，以及储存单元的运行记录；并可根据需要对某些参数进行修改，如频率等。
- 高前级耐压降低了对前级泵的要求，使得系统总体造价降低。

新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵 　　　　　　　　　　 

MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s
•  五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。
•  转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子*运行温度可高达 120 ℃ 。
•  转子及定片均采用莱宝技术的 KAPLAR 涂层
•  较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体；
•  降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命；
•  叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
•  保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（ >600 次），无需更换保护轴承。
•  高真空端连接采用 ISO-F ，连接螺栓强度高，充分保障安全。
•  智能化电源，无需 UPS 。
•  带拖动级，前级耐压在 2mbar 以上。
•  分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。
•  的数字控制技术
•  运行速度、温度可设置；
•  运行数据记录存储，提供多达 180 条运行信息；
•  磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短
•  转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；
•  在气流长时间（ 2 分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。
•  控制器与泵无识别性，可互换。
•  免维护。
典型应用：
适用于
•  所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
•  科研领域
•  镀膜
另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。

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